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供应石英坩埚制造设备

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    真空电弧法生产石英坩埚(以下简称真空坩埚)是目前世界上生产石英坩埚*先进的技术。它以电弧为热源,离心成型的工艺制造坩埚。其特点是设备可操作性强,工艺成熟,产品利润空间大,市场前景广阔。石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品,是半导体产业的龙头产业。广泛应用于电子、化工等诸多行业。用电弧法制造的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。

本工艺是用电弧为热源,离心成型为基础,熔化预先成型过的高纯石英粉料,通过抽真空制造高纯度内层透明,外层乳白的石英坩埚的装置。主机包括:旋转成型机构、电极升降及开闭机构、遮热板升降机构、电弧电源装置、液压传动系统、真空系统、电控操作台系统、防音及给排风系统、吹扫清洗设备及坩埚取出工具等。

 
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